■概要
研究開発用途に特化した、デスクトップサイズの超小型熱ナノプリント装置です。
高性能セラミックスヒーターと高精度サーポモータを搭載したインプリントヘッド、そして使い易いユーザーインターフェースを備えた装置で、熱ナノインプリントプロセスが効率よく高精度に行えます。
□Outline
A compact designed thermal nanoimprint system has been released. Precise controlled thermal nanoimprint process is possible with the system consisting of high-performance heater unit and imprint head system.
■主な仕様
□Specification
- Max.Temperature : 700℃
- Max. Imprint Area : 200mm X 30mm
- Max. imprint Force : 2kN
- Inching Resolution of Imprint Head : 0.1μm
- Release Mechanism : Available
- Cooling : Dry Air
- Vacuum Operation : Available
- Dimensions :
- Weight :
■用途
□Application
- R&D on Micro and Nano patterning for
-Optical Devices
-Bio and Fluidic Devices
-Patterned Media
-MEMS and NEMS Devices
-Packaging
-Others
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