デスクトップナノファクトリー

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Desktop Nanofactories

デスクトップナノファクトリー
Desktop Nanofactories

■概要
ナノ加工プロセスがより簡単に行える環境の実現を目指して、大規模なクリーンルームを必要とせず、比較的低コストで導入できるデスクトップタイプのナノ加工システム開発を進めています。
□Outline
New concept of Desktop Nanofactories on nanofabrivcation process system is proposed to decrease installation risks.

■システムコンセプト
□System concept
Desktop Nanofactories is the specialized nano-fabrication system for R&D use.