研究用MEMS血流量センサ
装着可能な血流量センサです。今回、長時間モニタリング用と脈波の波形送信用の2種類を開発しました。

デスクトップ型ナノインプリントシステム及びローラ式ナノインプリント装置
研究開発用途に特化した、デスクトップサイズの超小型熱ナノインプリント装置は、高性能セラミックスヒーターと高精度サーボモータを搭載したインプリントヘッド、そして使い易いユーザーインターフェースを備えた装置で、熱ナノインプリントプロセスが効率よく高精度に行えます。また、ローラ式ナノインプリント装置は、高精度の熱式ナノインプリントプロセスを実行します。

デスクトップナノファクトリ
ナノ加工プロセスがより簡単に行える環境の実現を目指して、大規模なクリーンルームを必要とせず、比較的低コストで導入できるデスクトップタイプのナノ加工システム開発を進めています。